最高温度：≤1200℃
工作温度：≤1100℃
真空度：可选
温度均匀性：
温控精度：±1℃
可通气氛：可选
可编程段：30段
压升率：
可选型号：单温区/多温区RTP炉，真空/气氛RTP炉
材质：炉管-石英
气路通道：
在线咨询客服18137195607| 名称 | RTP快速退火炉 | ||||
| 处理晶圆尺寸：2英寸 | 处理晶圆尺寸：4英寸 | 处理晶圆尺寸：6英寸 | |||
| 炉管外径 | 100mm | 炉管外径 | 110~150mm | 炉管外径 | 180~200mm |
| 加热区尺寸 | 200mm | 加热区尺寸 | 300mm | 加热区尺寸 | 400mm |
| 最高温度 | 1000℃ | ||||
| 工作温度 | ≤900℃ | ||||
| 加热元件 | 红外灯 | ||||
| 热电偶 | N型 | ||||
| 炉管材质 | 石英 | ||||
| 控温方式 | PID控制和自整定调节，智能化30段可编程 | ||||
| 温控保护 | 超温和断偶保护功能 | ||||
| 加热速率 | 建议0~50°C/min | ||||
| 温控精度 | ±1℃ | ||||
| 温区数量 | 单温区 | ||||
| 炉膛材质 | 高纯氧化铝耐火纤维 | ||||
| 炉壳结构 | 碳钢外壳，双层壳体并配有风冷系统 | ||||
| 炉体结构 | 开启式 滑道式 | ||||
| 工作环境 | 常压/真空状态/气氛状态 | ||||
| 工作电源 | 220/380V,50HZ( 按需求定制) | ||||
| 密封 | 不锈钢真空法兰，带阀门和一个机械压力表 | ||||
| 其他可选配置 | 流量计，真空系统，触摸屏，远程控制，电脑显示 | ||||
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
