产品简介

管式晶圆退火炉属于半导体热处理设备，依靠石英炉管 + 电阻辐射加热，将晶圆放置在石英舟内送入密闭炉管，通入氮气、氩气等保护气体，也可实现负压环境；炉体分区加热，缓慢升温并长时间恒温，通过热作用修复离子注入造成的晶格损伤、激活掺杂杂质，同时完成薄膜致密化、应力释放、热氧化等工艺。广泛用于功率半导体、MEMS、第三代半导体以及成熟制程芯片产线与实验室研发。